半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展和晶片的縮小，使得晶片計(jì)量設(shè)備將精密運(yùn)動(dòng)的控制水平不斷提高，以確保光學(xué)系統(tǒng)元件滿足這些苛刻的性能要求。在垂直于運(yùn)動(dòng)軸的兩個(gè)軸上的跳動(dòng)、鉆孔的圓度以及在運(yùn)動(dòng)期間和結(jié)束時(shí)的動(dòng)力都特別重要。必須具備極低且一致的摩擦力和最佳的移動(dòng)和穩(wěn)定性能。設(shè)計(jì)和制造可靠地達(dá)到這種性能水平的機(jī)電一體化組件，需要具有高級(jí)機(jī)電一體化專門技術(shù)的可靠精密運(yùn)動(dòng)合作伙伴、高性能電機(jī)和編碼器元件、復(fù)雜的微細(xì)加工工藝以及軸承系統(tǒng)、特殊材料和制造工藝方面的專業(yè)知識(shí)。

Celera Motion的機(jī)電一體化團(tuán)隊(duì)使用Juke音圈電機(jī)和Mercury編碼器作為核心元件來提供所需性能，設(shè)計(jì)出一個(gè)精密的線性平臺(tái)機(jī)構(gòu)，可在Y和Z方向進(jìn)行跳動(dòng)調(diào)整。使用特殊材料和微細(xì)加工工藝來滿足客戶要求苛刻的性能和環(huán)境規(guī)格。Celera Motion團(tuán)隊(duì)實(shí)施了高效和可擴(kuò)展的測試和校準(zhǔn)方法，包括坐標(biāo)測量機(jī)（CMM）儀器、共焦激光器、稱重傳感器，數(shù)碼相機(jī)和單軸運(yùn)動(dòng)控制器，而且它們均由Celera Motion的內(nèi)部軟件程序進(jìn)行控制。成功引進(jìn)設(shè)計(jì)和制造流程，并快速升級(jí)為連續(xù)生產(chǎn)，從而滿足了客戶苛刻的交付計(jì)劃。

精密平臺(tái)設(shè)計(jì)與定制校準(zhǔn)和測試軟件結(jié)合使用，能夠在最終組裝的幾分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)超精細(xì)的跳動(dòng)功能。要具備設(shè)計(jì)既可調(diào)節(jié)又可在幾十毫秒內(nèi)移動(dòng)并穩(wěn)定下來的精密滑塊的能力，需要最先進(jìn)的設(shè)計(jì)和硬件。Celera Motion編碼器提供行業(yè)領(lǐng)先的光學(xué)對(duì)齊邊距和納米級(jí)分辨率。Celera Motion的電機(jī)生產(chǎn)線致力于實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)出外形尺寸比，使其成為專門化作業(yè)的理想選擇，其中最小的空間和最大的性能要求是非常重要的。