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海德漢敞開式直線光柵尺

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直線光柵尺測量直線軸位置,無需任何其它機械傳動件。有效避免多個潛在誤差源的影響: 滾珠絲杠發(fā)熱導致的定位誤差 反向誤差 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差。

敞開式直線光柵尺廣泛用于需要極高測量精度的機器設備。典型應用包括: 半導體工業(yè)的測量和生產設備 PCB電路板組裝機 超精密機床和設備,例如加工光學器件的金剛石刀具,加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床 高精度機床 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量設備 直驅電機的位置和速度測量。

機械結構 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和讀數頭,光柵尺和讀數頭間無機械接觸。 敞開式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面上。因此,為確保直線光柵尺的高精度, 必須確保安裝面平面度達到高標準。

絕對式位置測量 LIC敞開式直線光柵尺為絕對式位置測量 的光柵尺,最大測量范圍達28 m并允許高速運動。



基線誤差基體和安裝方式
精度等級間隔寬度
LIC 4100
超高精度
±1μm
±3μm
±5μm
≤±0.275μm
10 mm
玻璃或玻璃陶瓷光柵尺,粘結在安裝面上或用安裝架固定
±5μm≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
將鋼尺帶穿入鋁殼中并拉緊
±3μm
±5μm
±15μm
≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
將鋼尺帶穿入鋁殼中并固定
±3um
±15μm
≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
鋼尺帶,粘結在安裝面上
LIC 3100
高精度
±15μm )≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中心固定
鋼尺帶,粘結在安裝面上
LIC 2100
易于安裝
±15μm——將鋼尺帶穿入鋁殼中并固定
±15μm——鋼尺帶,粘結在安裝面上


絕對測量法 絕對測量法是指光柵尺或編碼器在通電時 立即提供位置值并隨時供后續(xù)信號處理電 子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零 操作。絕對位置信息由測量基準上的光柵 讀取,它由系列絕對式編碼組成。將單獨 的增量刻軌信號進行細分生成位置值,并 根據接口版本,還生成可選的增量信號。



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