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海德漢敞開式直線光柵尺

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直線光柵尺測(cè)量直線軸位置,無(wú)需任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。有效避免多個(gè)潛在誤差源的影響: 滾珠絲杠發(fā)熱導(dǎo)致的定位誤差 反向誤差 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差。

敞開式直線光柵尺廣泛用于需要極高測(cè)量精度的機(jī)器設(shè)備。典型應(yīng)用包括: 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 PCB電路板組裝機(jī) 超精密機(jī)床和設(shè)備,例如加工光學(xué)器件的金剛石刀具,加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床 高精度機(jī)床 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備 直驅(qū)電機(jī)的位置和速度測(cè)量

機(jī)械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸。 敞開式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面上。因此,為確保直線光柵尺的高精度, 必須確保安裝面平面度達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)。

絕對(duì)式位置測(cè)量 LIC敞開式直線光柵尺為絕對(duì)式位置測(cè)量 的光柵尺,最大測(cè)量范圍達(dá)28 m并允許高速運(yùn)動(dòng)。



基線誤差基體和安裝方式
精度等級(jí)間隔寬度
LIC 4100
超高精度
±1μm
±3μm
±5μm
≤±0.275μm
10 mm
玻璃或玻璃陶瓷光柵尺,粘結(jié)在安裝面上或用安裝架固定
±5μm≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
將鋼尺帶穿入鋁殼中并拉緊
±3μm
±5μm
±15μm
≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
將鋼尺帶穿入鋁殼中并固定
±3um
±15μm
≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
鋼尺帶,粘結(jié)在安裝面上
LIC 3100
高精度
±15μm )≤±0.750μm/
50 mm
(典型值)
將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中心固定
鋼尺帶,粘結(jié)在安裝面上
LIC 2100
易于安裝
±15μm——將鋼尺帶穿入鋁殼中并固定
±15μm——鋼尺帶,粘結(jié)在安裝面上


絕對(duì)測(cè)量法 絕對(duì)測(cè)量法是指光柵尺或編碼器在通電時(shí) 立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電 子電路讀取。無(wú)需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零 操作。絕對(duì)位置信息由測(cè)量基準(zhǔn)上的光柵 讀取,它由系列絕對(duì)式編碼組成。將單獨(dú) 的增量刻軌信號(hào)進(jìn)行細(xì)分生成位置值,并 根據(jù)接口版本,還生成可選的增量信號(hào)。



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